①高效易控 微波真空干燥機采用輻射傳能，微波可以穿透至物料內部，使內外同時受熱，無需其他傳熱媒介，所以傳熱速度快、效率高、干燥周期短、能耗低。又因其加熱的能量控制無滯后現象，容易實施自動控制。

②安全高質 微波不會給被加熱物料帶來不安全因素，其安全性得到國際認可。微波真空干燥對物料中熱敏感性成分及生物活性物質的保持率一般可達到90%～95%，且微波真空干燥時間較冷凍干燥時間大大縮短，成品品質達到或超 過凍干產品。

③環保低耗 干燥過程中無有毒、有害廢水或氣體的產生，生產環境清潔衛生。微波能源利用率高，對設備及環境不加熱，僅對物料本身加熱。運行成本比凍干降低30%～40%，也低于紅外干燥。

④適應性強 微波真空干燥對形狀復雜、初含水量分布不均勻的物料也可進行較均勻的脫濕干燥。對熱敏感高的物質，如一些生物藥品，可采取微波與真空冷凍干燥相結合的方法，縮短干燥周期。

此外，微波真空干燥設備還具有消毒、殺菌之功效。但在微波真空組合干燥過程中，由于不真微波功率、真空度或物料形狀選擇不當，可能會產生燒傷、邊緣焦化、結殼和硬化等現象。同時，為保障設備使用的安全性，微波泄漏量應達到國際電工委員會安全標準。